Rozwiązanie automatycznego sterowania sprzętem do powlekania półprzewodników

Rozwiązanie automatycznego sterowania sprzętem do powlekania półprzewodników

Historia sprawy:
W przemyśle półprzewodnikowym maszyny do powlekania są niezbędne w procesie fotolitografii, odpowiedzialne za nakładanie fotorezystancji lub innych materiałów funkcjonalnych na płytki lub podłoża.Wykorzystanie metod powlekania spinowego lub spryskowego, te maszyny tworzą jednorodne i stabilne cienkie folie zapewniające dokładność wzoru.i systemy pozycjonowania o wysokiej dokładnościCzęsto wyposażone są w zautomatyzowane ramiona załadunku/wyładunku oraz systemy kontroli sprzężenia zwrotnego w czasie rzeczywistym w celu zwiększenia wydajności produkcji i zapewnienia stałej jakości powłoki.

Rozwiązanie:

• Główny kontroler:OMRON PLC

• Zastosowany proces:Powierzchnia

• Konfiguracja I/O projektu:MTC-EWG-A-2-A16-L-10-08-S-D + MTC-200H-D*2

• Roczne zużycie:1 milion zestawów

W tym projekcie klient integruje sterownik OMRON PLC z produktami Decowell's MTC valve island w celu zbudowania kompaktowego i wydajnego systemu sterowania pneumatycznego urządzeń powłokowych.Zawory magnetyczne napędzają cylindry w celu precyzyjnego sterowania pionowym i poziomym ruchem dyszy rozpylającejDodatkowe cylindry napędzają automatyczne ramiona załadunku i rozładunku, które przenoszą podłoże między powłoką a systemem przenośnika.

System zawiera moduły I/O w wyspie zaworu, umożliwiające łatwe podłączenie czujników pozycji i przełączników magnetycznych.Z architekturą modułowąSystem oferuje doskonałą skalowalność i elastyczność w celu spełnienia różnych konfiguracji urządzeń.

Zalety zastosowania:

• Wysoka integracja zmniejsza przewody i oszczędza miejsce na panele

• Moduły I/O rozszerzalne do przyszłych modernizacji systemu

• Dokładne sterowanie ruchem dyszek rozpylających i ramion obsługi

• Stabilna, wydajna wydajność nadająca się do produkcji dużych objętości